双面研磨机精密磨削和超精密磨削
随着技术创新与高科技产品的不断涌现,零件的加工精度和表面完整性要求愈来愈高。例如,广泛用于液压随动系统中精密偶件的阀芯与阀套的配合精度常要求达到μm级,录像头、影碟机等精密零件的加工精度已提高到0.1μm,激光陀螺平面反射镜的平面度误差要求小于0.05μm、Ra<0.001μm。目前作为传统精密加工方法的磨削正在向超精密磨削、超精密研磨和抛光等方向发展。精密和超精密磨削的关键是最后一道工序,要从工件表面降去一层小于或等于工件最后精度等级的表面层。因此,要实现精密或超精密磨削,首先要减少磨粒单刃切除量,而使用微细或超微细微粉的磨粒是减少单刃切除量的最有效途径。日本镜面磨削时使用的磨具粒度为4000~8000#,其微粉的平均尺寸为1.5μm~4μm,加工后工件表面粗糙度可达Ra0.003μm~0.005μm。使用粒径为20nm的SiO2超微细微粉及锡抛光盘对蓝宝石单晶进行无损超精密研磨的抛光,可获得 Ra<1nm的表面。目前精密量块、光学平晶、集成电路的硅基片等精密零件都是采用上述方法来获得高质量的表面。为使研磨压力均匀可控,近几年来还开发了磁力研磨,磁流体超精研磨及弹性发射加工(EEM)等新技术。

  实现超精密磨削是一项系统工程,包括研制高精度的机械机构,精密的磨具及其平衡与修整技术,以及磨削环境的净化与冷却方式等。江阴翔恒机械设备厂开发的双面研磨机精密磨削工艺,其尺寸精度和加工表面粗糙度均与国外水平相当,磨削效率高于国外一倍左右。该工艺在无锡威孚高科技股份有限公司、无锡开源集团等单位使用后,取得了显著的经济效益。

2010-09-02